Chromatischer Sensor und Atomkraftmikroskop

Atomkraftmikroskop (Universelles Messgerät MicroProf FRT)

Universelles Messgerät MicroProf FRT

Die Struktur von Oberflächen fester Körper wird in drei Dimensionen erfasst und kann dabei von optischer Auflösung (vergleichbar einer Lupe) bis in Bereiche weniger Nanometer dargestellt werden. Mittels einer Bildverarbeitung entsteht ein dreidimensionales Bild der Oberfläche, in dem Höhendifferenzen von 6nm nachgewiesen werden können. Die technisch üblichen Parameter zur Charakterisierung der Rauheit von Oberflächen (Ra, Rz u.a.) werden ebenfalls dargestellt.

Das Gerät setzt sich aus einer Photozelle, einem chromatischen Sensor sowie einem Atomkraftmikroskop zusammen. Das herausragende Kennzeichen ist, dass alle Sensoren den gleichen Probenbereich untersuchen. D.h. eine ausgewählte Stelle kann bis in atomare Größenordnungen untersucht werden.

Technische Daten:
Chromatischer Sensor FRT CWL:
Messbereich: 300 μm
Auflösung x,y: 2 μm
Auflösung z: 3 nm

Rasterkraftmikroskop FRT AFM:
Auflösung z: 2 nm