Hochvakuumbeschichtungsanlage

HochvakuumbeschichtungsanlageAnwendungen:

Aufdampfen und Sputtern dünner Filme
Substrattemperaturen bis 300 °C
Herstellung thermochemischer Umwandlungsschichten

Technische Daten:

pmin: ≈ 10^(-5) Pa
d: ≈ 650 mm
h: ≈ 45 mm
diverse Flansche und Durchführungen

(Präzisions-) Trennen

Präzisionstrennen (WIRTZ-BUEHLER ISOMET 4000)

WIRTZ-BUEHLER ISOMET 4000

Technische Daten:

Schnittkapazität bis 50 mm Dicke
Positioniergenauigkeit 0,02 mm

Schleifen und Polieren

Schleifen-Polieren (BUEHLER PHOENIX ALPHA)

BUEHLER PHOENIX ALPHA

Technische Daten:

Unterschiedliche Proben

Es können sowohl eingebettete als auch nicht eingebettete Proben zielgenau durch zahlreiche selbstentwickelte Probenhalter präpariert werden. Maßgeblich ist ein präziser Anpressdruck der Proben an die Schleif- und Poliervorrichtung sowie die Erfahrung des Laborpersonals für die Auswahl der Präparationsmaterialien.

[Zu den Ergebnissen...]

Stereomikroskop

Stereomikroskop (LEICA MZ6)

LEICA MZ6

Technische Daten:

Zoom-Vergrößerungswechsler: 6:1
Objektvive: 0,8x und 2,0x
Vergrößerungsbereich: 5x bis 80x

Beleuchtungen:
Schwanenhals
Ringlicht
Koaxial-Auflicht:

Diese Beleuchtung ermöglicht die Beobachtung flacher, hochreflektierender Objekte wie Wafer, integrierte Schaltungen und Metallschliffe.

Systemmikroskop

Systemmikroskop (Olympus BX 40)

Olympus BX 40

Technische Daten:

max. Vergrößerung: 1000x
max. Auflösung: 0,27 μm
Fokussiergenauigkeit: ≈ 1 μm
Hell-/ Dunkelfeldkontrast
Beleuchtung: Köhler-Beleuchtung für Auflicht 5-fach Objektivrevolver

Digital-Mikroskop

Digital-Mikroskop (KEYENCE VHX-500K)

KEYENCE VHX-500K

Technische Daten:

Objektive:
0 – 50
20 – 200
100 – 1000

VHX-500K (mit der Möglichkeit für Videoaufnahmen)

Rasterelektronenmikroskop

Rasterelektronenmikroskop (ZEISS DSM 950)

ZEISS DSM 950

Technische Daten:

Vergrößerung: >10000x
Auflösung: ≈10 nm
Probengröße: dmax ≈ 250 mm
Digitale Bildverarbeitung mit Mess- und Auswerteprogrammen
Ausgabeformate: .jpg, .tif

 

Detektoren:

Sekundärelektronendetektor (SE)
Rückstreuelektronendetektor (BSE), zur Materialkontrastdarstellung
Energiedispersive Röntgenstrahlanalyse (EDX)

Quantitativer und qualitativer Nachweis von Elementen bis Bor,
Punkt- und Linienanalyse sowie Verteilungsbilder

Probenpräparation: Bedampfen und Sputtern (Kohle, Gold)